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无尘室(洁净室)测试验收

日期:2019-11-19 01:28
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摘要:
无尘室(洁净室)测试验收,先要确认无尘室各项工程已完成并运转至少24小时以上,方能进行如下各项测试。各测试项目,其也有一定的先后顺序。先要测定HEPA/ULPA风速,HEPA/ULPA的风速是测定其泄漏的前提,滤网没有风速或者风速很小都能直接影响hepa扫漏的准确性,同时也影响环境内粒子的过滤效果。从事洁净室工程设计施工多年经验的工程师应该都知道,竣工验收时,一般新装HEPA风速要达到0.40-0.45m/s以上,同时回风风速一般要在2.0m/s左右,无尘室内的过滤效果才明显,如此风速,一些1.0以上大颗粒会被气流通过回风带走。风速小于0.35的会造成大颗粒在室内一直循环而不被回风带走,这样的话做环境粒子测试将无法通过,待室内运行一段时间后,无尘室正常生产运转的时候将风速范围将调至在0.25-0.45之间亦可保证室内的洁净度。

       HEPA/ULPA的扫漏,一般包括俩个部分,一是中的HEPA/ULPA的表面扫漏,另外就是其安装的周边密封性扫漏,HEPA/ULPA的表面在厂家出厂前也进行过测试,但是不能确定工人在安装过程中会造成损坏,所以表面扫漏也是必须的,周边密封性的扫漏是检验安装是否到位,气密是否严实,在一般的扫漏过程中,周边密封性扫漏是必要的工作,也是扫漏的重点。HEPA/ULPA风速测试中,为避免边缘受到涡流的影响,一般可以采取四周PVC围护的方式,以利测量结果的准确性。

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