洁净室的气流流型检测

洁净室的气流流型检测

气流流形的检测应按以下步骤进行：

1 布置测点：

1）垂直单向流洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；

水平单向流洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送、回风墙面0.5和房间中心

处等3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2m~1m；

2)乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各一个，剖面上

的测点间距为0.2m~0.5m，水平面上测点间距为0.5m~1m。两个风口之间的中线上应有测

点。

2 测定方法：用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，并可用量角器量出角

度，发烟源可用超声波雾化（0.5um~50um水雾）的去离子（DI）水、喷射方法生成的乙醇或

二醇、固态二氧化碳（干冰）等，在高强度光源下示踪。在确保对人和物无伤害时可以四氯化

钛（TiCl4）作示踪粒子。

气流流向的检测方法如下：

1 当要检测一个区域的定向流流向时，应在该区域头尾之间，分段立杆，杆上不同高度挂有单

丝线，或者发烟，按照测定气流流型同样方法，观测定向流流向并记录。也可分段接力发烟，

目测绘制或摄影、摄像。

2 当要检测一个洁净室的定向流流向时，应在该室门口至排（回）风口之间设立测干，方法同

上。

流线平行性应按照以下方法检测：

1 用单丝线观测送风平面的气流流向，每台过滤器对应一个观察点。

2 用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度，避免人的干扰。